使用固体激光器进行结构化和蚀刻，这曾一度是闻所未闻的。直到“微加工”这一关键词得到广为流传，此项工艺才愈发成为关注的焦点。采用激光结构化与激光蚀刻时可加工小型甚至极小尺寸的工件。

 

      结构化与蚀刻在工艺技术方面密切相关：短激光脉冲以极高的脉冲功率产生高能量密度，从而使大部分材料直接蒸发（升华）。此工序仅产生少量的金属熔融物。每一激光脉冲生成一道小凹口。经测量，凹口直径通常为几十微米，而深度也仅有几微米。